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肖漢寧教授:半導(dǎo)體裝備用高性能氧化鋁陶瓷制備技術(shù)
發(fā)布時(shí)間:2025年05月07日 來(lái)源于:粉體圈
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“卡脖子”問(wèn)題是中國(guó)科技自主化進(jìn)程中急待突破的關(guān)鍵瓶頸。從材料角度來(lái)看,先進(jìn)陶瓷的問(wèn)題尤為突出——半導(dǎo)體設(shè)備的刻蝕、外延沉積、離子注入等``````
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