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王宏興教授:金剛石半導體材料與器件的新進展(報告)

發布時間:2024年09月27日      來源于:粉體圈
上世紀80年代初,化學氣相沉積(CVD)金剛石研究興起,這是一種通過高溫將氫氣和碳氫氣體(通常是甲烷CH4)分解成碳氫活性基團,在一定條件下``````
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