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中鋁山東:CMP拋光用高純氧化鋁的制備及應用(報告)

發布時間:2023年09月18日      來源于:粉體圈
Al2O3具有高強度、高硬度、抗磨損、耐高溫、高電阻率等優良性能,在CMP拋光技術中得到廣泛應用,CMP用高純氧化鋁粉體廣泛應用于航天航空、軍工、軌道交通``````
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