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氧化鋁拋光粉(VK-L30F)在藍(lán)寶石襯底拋光中的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2014年05月12日
目前, 在藍(lán)寶石的CMP 工藝中, 常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁等磨料````
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